製品情報
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製品情報 Product information
SpeedシリーズTS型
特長
環境問題とフロン類の関係性:
•オゾン層破壊への影響：
「特定フロン」は、オゾン層破壊効果と高い温室効果を有し、オゾン層を破壊します。
•地球温暖化への影響：
特定フロンの代替として利用される「代替フロン」は、オゾン層破壊効果はないものの、高い温室効果を有するため、地球温暖化に影響を与えます。
- 冷却、昇温各5分程度
- もうフロンは不要です･･･He（ヘリウム）ガスを冷媒に使用
- フロン系コールドトラップと同様に使用可能
- 軽量コンパクト･･･設置スペースが約1/3
- 水分の多いパッチ式装置、光学用成膜装置に最適･･･あらゆる真空装置に使用可能
- 特許出願中
概要
スピードシリーズTS型は、フロン系コールドトラップに替わるヘリウム冷凍機を用いた極低温スーパートラップ（水分子に対する排気速度10,000～100,000L/s）です。バッチ式の真空装置や光学用の成膜装置では、真空排気時と蒸着時に基板などから放出される水を効率よく排気するために、蒸着室内または主バルブと蒸着室の間の排気ラインに極低温面を配置していますが、蒸着基板などを300ºC以上に加熱する場合が多いため、大きな冷凍能力のフロン系（代替フロン）のコールドトラップが使われています。代替フロン（HFC）は、CO2 の数千倍もの温室効果があるため、地球温暖化の要因となっています。
TS型スーパートラップに使用しているヘリウムガスは、地球温暖化係数が0で、環境に対する影響が一切心配ありません。
アルバック・クライオでは、大型の冷凍機を使用したフロン系コールドトラップに替わる地球環境にやさしいトラップを商品化いたしました。
