产品信息
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产品信息
低温恒温器
晶元冷却用
特征
让半导体在晶元状态下进行检测
以往的极低温冷却设备只能在半导体的芯片状态下进行检测，然而使用低温恒温器可以使之在晶元状态下，从室温到极低温自由控制温度。并且，因配备了控制器，可以在冷却的同时进行测试。
细节图
标准规格
| 冷头 | HE05/UW404 | D510/SA115・SW115 | S030/SA115・SW115 |
| 达到温度 | 10K以下 | 25K | 40K |
| 温度控制范围 | 10K to 300K ±0.2K | 25K to 300K ±0.2K | 40K to 300K ±0.2K |
| 最大晶元尺寸 | 2英寸 | ||
| 样本架振动值 | 1μm 以下（地面震动2μm 以下) | ||
| 附属品 | 真空排气阀, 温控用加热器, 极低温温度计（温控用/测温用） | ||
