特征

可代替氟利昂冷阱

1. 大幅缩短排气时间，提高装置的运转效率。
2. 因使用氦气，地球暖化系数为零。
   （氟利昂冷阱的地球暖化系数为1,600～3,800）
3. 性能等高于氟利昂冷阱。
4. 冷却、升温均在10分钟以内完成。
5. 有效排气速度为10,000～100,000L/s。
6. 因轻便、紧凑，实施操作起来简单。（设置空间只需氟利昂冷阱的1/3）
7. 最适用于水分多的批处理式装置，光学成膜装置（适用于所有真空装置）。