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C10
C10AT
C10ES
C15R/C15T(水冷)
C30VR/C30VRT(水冷)
C30MVR/C30MVRT(水冷)
C30MVER
C30PVRT
C30PMVRT
C40R
低温泵与压缩机装置的组合
(Number of cryopumps that one compressor can Run.)